７．マイクロ飛翔ロボット

　マイクロロボットを飛翔させることも試みている。翼を羽ばたかせるには、図７のような、静電アクチュエータを備えた翼を交流電源によって羽ばたかせることができる。この場合も、共振を利用して、大きな振幅を得ることができる。また、図８のように、ニッケル板を２枚のポリイミドの板で挟んだ構造の翼を作り、外部から交流磁界を与えて羽ばたかせ、浮上させることにも成功している。マイクロ回転翼によって飛行させる試みも、研究室で成功している。